真空一般都是利用各種真空泵將被抽容器中的氣體抽出，使該空間的壓強低于一個大氣壓而獲得。目前常用獲得真空的設(shè)備主要有旋轉(zhuǎn)式機械真空泵、油擴散泵、分子泵、分子篩吸附泵、鈦升華泵、濺射離子泵和低溫泵等。其中前三種屬于氣體傳輸泵，即通過將氣體不斷吸人并排出真空泵從而達到排氣的目的；后四種真空泵屬于氣體捕獲泵，是利用各種吸氣材料所特有的吸氣作用將被抽空間的氣體吸除，以達到所需真空度。由于捕獲泵工作時不使用油作為介質(zhì)，又稱之為無油類泵。實際使用中，將真空泵和別的裝置組合起來使用，可以獲得更高的真空度。

　　1.旋片式機械真空泵

　　凡是利用機械運動(轉(zhuǎn)動或滑動)以獲得真空的泵稱為機械泵。它是一種可以從大氣壓開始工作的典型的真空泵，既可以單獨使用，又可作為高真空泵或超高真空泵的前級泵。由于這種泵是用油來進行密封的，所以又屬于有油類型的真空泵。這類機械泵常見的有旋片式、定片式和滑閥式(又稱柱塞式)幾種，其中以旋片式機械泵最為常見。

　　旋片式真空泵是用油來保持各運動部件之間的密封，并靠機械的辦法，使該密封空間的容積周期性地增大(抽氣)、縮小(排氣)，從而達到連續(xù)抽氣和排氣的目的。泵體主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、迸氣管和排氣管等組成。定子兩端被密封形成一個密封的泵腔。泵腔內(nèi)，偏心地裝有轉(zhuǎn)子，它們相當(dāng)于兩個內(nèi)切圓。沿轉(zhuǎn)子的軸線開一個通槽，槽內(nèi)裝有兩塊旋片，旋片中間用彈簧相連，彈簧使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片始終沿定子內(nèi)壁滑動。

　　由于泵工作時，定子、轉(zhuǎn)子全部浸在油中，在每一吸氣、排氣周期中將會有少量的油進入到容器內(nèi)部，因此要求機械泵油要具有較低的飽和蒸氣壓及一定的潤滑性、粘度和較高的穩(wěn)定性。

　　2．渦輪分子泵

　　渦輪分子泵屬于氣體傳輸泵，其工作原理是依靠高速運動的物體表面把定向速度傳遞給入射表面的氣體分子，造成泵出口、入口的氣體分子正向、反向傳輸幾率的差異而產(chǎn)生抽氣作用以實現(xiàn)高真空。葉片轉(zhuǎn)動時的平均平移速度與空氣分子的平均熱運動速度可比擬，氣體分子與葉輪相碰獲得定向速度，而葉輪開槽的角度保證分子由入口到出口的傳輸幾率大于相反方向的幾率。為了獲得高真空，分子泵中裝有多級葉片，轉(zhuǎn)子葉片與定子葉片交互布置。分子泵的壓縮比和氣體分子量的平方根成正比，氣體分子越輕，壓縮比越小。分子泵的殘氣主要由氫組成，而重的碳?xì)浠衔锸菢O少的，因此分子泵油蒸氣污染較輕，通常也將其當(dāng)作無油泵。渦輪分子泵的極限真空度可達10-8Pa，抽速可達1000L/s。其工作范圍_般在1～10-8Pa之間，因而需要以旋片式機械泵作為其前級泵。

　　3．低溫泵

　　低溫泵是目前具有最高極限真空的抽氣泵，它是利用20K以下的低溫表面來凝聚(吸附)氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵。主要用于如高能物理，超導(dǎo)材料的制備，宇航空間模擬站等要求高清潔、無污染、大抽速、高真空和超高真空場合的大型真空系統(tǒng)。

                              

　　低溫泵又稱冷凝泵、深冷泵，按工作原理又可分為低溫吸附泵、低溫冷凝泵和制冷機低溫泵。前兩種泵直接使用低溫液體(液氮、液氦等)來進行冷卻，成本較高，通常僅作為輔助抽氣手段。制冷機低溫泵是利用制冷機產(chǎn)生的深低溫來進行抽氣的泵。在制冷機的第一級冷頭上裝有輻射屏和輻射擋板，溫度處于50~77K，用以冷凝、抽除水蒸氣和二氧化碳等氣體，同時還能屏蔽真空室的熱輻射，保護第二級冷頭和深冷板；深冷板裝在第二級冷頭上，溫度為10～20K，板正面光滑的金屬表面可以去除氮、氧等氣體，反面的活性炭可以吸附氫、氦、氖，達到去除各種氣體的目的，從而獲得超高真空狀態(tài)。

　　低溫泵作為捕獲泵，能用來捕集各種包括有害的或易燃易爆氣體，使其凝結(jié)在制冷板上，成為低溫凝層以達到抽氣的目的。但是，工作一段時間后，低溫泵的低溫排氣能力會降低，因此必須將這些低溫凝層清除。