三種低溫冷凝泵的再生方式

　　冷凝泵又叫凝結(jié)水泵，低溫冷凝泵是依靠制冷機(jī)獲取冷量,利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。低溫冷凝泵的抽氣是一個(gè)物理過程,它所冷凝和吸附的氣體并沒有排出泵外,因此在冷頭和低溫陣列活性碳飽和后,泵的吸氣能力下降,同時(shí)冷頭溫度開始升高(20 K以上)。為恢復(fù)泵的抽氣能力,需對(duì)泵進(jìn)行再生,常見的有自然升溫法、熱N2沖洗法、電加熱法3種低溫冷凝泵再生方式。

　　1.自然升溫法

　　關(guān)閉高真空閥和電源后,使泵自然升溫至室溫，從過壓保護(hù)閥自動(dòng)釋放出冷凝吸附的氣體。這種再生方法優(yōu)是簡單經(jīng)濟(jì),但是耗時(shí)過長(15 h左右),水蒸汽易被活性碳吸附而不易排出,造成粗抽時(shí)間過長,使機(jī)械泵油蒸汽返流到泵內(nèi)造成污染,影響泵的抽氣性能。

　　2.熱N2沖洗法

　　熱N2沖洗法是利用熱N2充入泵內(nèi)對(duì)泵進(jìn)行加熱升溫,釋放出泵內(nèi)冷凝吸附的氣體。這種熱交換的效率高,有利于水蒸氣從活性碳中脫附,可以縮短再生時(shí)間(4 h左右),提高再生質(zhì)量,同時(shí)還可以稀釋泵中吸附的有毒易爆氣體，是溫冷凝泵最常用的再生方法。

　　3.電加熱法

　　采用加熱帶包裹在泵壁周圍對(duì)其進(jìn)行加熱升溫,使泵釋放出吸附的氣體。這種方法快速高效,缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜,需對(duì)加熱溫度進(jìn)行監(jiān)控,一般不超過66℃,以免使泵內(nèi)元件受損。泵體升到室溫后,使用機(jī)械泵對(duì)其進(jìn)行粗抽,一般達(dá)到6.5~13 Pa,然后關(guān)閉粗抽閥,記下真空度。確定無泄漏的情況下,對(duì)真空度進(jìn)行觀察,若5 min內(nèi)壓力升高率小于1.3 Pa/min,則可認(rèn)為再生完成,否則必需重復(fù)充N2氣、粗抽過程,直到壓力升高率達(dá)到要求為止。