油封機(jī)械真空泵共有四種類型。定片式泵，其性能較差，近年來國(guó)內(nèi)外很少生產(chǎn)：滑閥式泵，主要用在大型真空設(shè)備排氣方面，應(yīng)用較廣：旋片式泵，用于電真空工業(yè)，電子工業(yè)和對(duì)中小型容器排氣等工業(yè)部門中。它的主要優(yōu)點(diǎn)在于，1．簡(jiǎn)單易造。

　　2．與同樣大小的滑閥式泵比，每一轉(zhuǎn)的排氣量大，容積利用率高(每一轉(zhuǎn)有兩次或多次的吸氣與排氣過程)。

　　3．抽氣特性穩(wěn)定，氣體流入泵是連續(xù)的，滑閥泵則每轉(zhuǎn)一周就要打斷一次。

　　4．轉(zhuǎn)動(dòng)造成的不平衡力較小，且易于克服。

　　屬于油封機(jī)械真空泵類的還有一種國(guó)際上近幾年才出現(xiàn)的新泵型，叫余擺線機(jī)械泵，因其轉(zhuǎn)子的理論型線為余擺線(也是橢圓)而得名。泵腔的實(shí)際型線為轉(zhuǎn)子實(shí)際型線的外包絡(luò)線。該泵向大抽速方面發(fā)展比旋片泵及滑閥泵具有更多的優(yōu)點(diǎn)，抽氣性能好，而且體積小，振動(dòng)也小，轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)由于偏心齒輪內(nèi)的行星式轉(zhuǎn)動(dòng)而在泵腔內(nèi)型線的運(yùn)動(dòng)，既有滾動(dòng)也有滑動(dòng)，而且留有一定的間隙，因此摩擦小，磨損發(fā)熱也小，這就使得轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速可以提高到730轉(zhuǎn)/分，也就提高了抽速。另外，該泵的進(jìn)氣口和排氣口設(shè)在密封片的兩側(cè)，可以做得短而粗，增大了進(jìn)氣口的流導(dǎo)，有利于提高低壓強(qiáng)下的抽速。