在油擴散泵中，噴咀處噴出的蒸氣射流密度較小，并且氣體分子是借助于擴散方式進人蒸氣流而被抽走的。在噴射泵中，噴咀射出的是密度較高的射流，這時蒸氣流攜帶氣體分子的方式，主要是通過大量的射流旋渦與壓力較高的被抽氣體分子相互摻合而攜帶，同時也有微弱的粘滯攜帶和擴散攜帶。根據(jù)這種抽氣機理設(shè)計的泵稱蒸氣流噴射泵，其中以水作為工作介質(zhì)的稱水蒸氣噴射泵。

　　蒸氣噴射泵以絕對壓力為(8．1～12.2)×10⁵Pa的過飽和蒸氣作為能源，這高壓力工作蒸氣經(jīng)過拉瓦爾噴咀后，膨脹到一定進口壓力的混合室，在這膨脹中，位能的突然改變伴隨著速率的增加，于是在拉瓦爾噴咀的出口處便獲得超音速率的射流。被抽氣體就被這股射流引到前端。再根據(jù)能量守恒定律，流速高的地方其壓力應(yīng)較低，于是在混合室建立了低壓區(qū)，使被抽氣體將因壓力差而吸向混合室與蒸氣流相混合，并被帶往泵的出口方向。緊接著噴射形噴咀的是一個擴壓器，在擴壓器里的過程剛好與噴射形噴咀相反，它將混合后的氣體的流速降低，使壓力提高，甚至達到后一級泵所需要的進口壓力，從而把被抽氣體排出泵外。

　　蒸氣流噴射泵的極限壓力在水溫為15℃時為2000Pa，這時另外需要一個前級泵。增加水蒸氣噴射泵的級數(shù)后，可進一步降低其極限壓力。如采用五級水蒸氣噴射泵，其極限壓力可低至100～3Pa。

　　由于水蒸氣噴射泵的工作壓力范圍很寬(10⁴～10Pa)，抽氣量很大，對被抽介質(zhì)無嚴(yán)格要求，不怕被抽介質(zhì)的污染，不論被抽介質(zhì)溫度高低，也不論有無塵埃和腐蝕性物質(zhì)都可使用，故對抽除有害的和不衛(wèi)生的介質(zhì)特別有利；另外，還有工作安全可靠、運轉(zhuǎn)費用低廉(特別是蒸汽源方便的場合)，以及操作維修方便，因此可在化工、真空冷凍干燥、真空濃縮、真空輸送等場合下使用，但它的噪音很大。